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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

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东魏、北齐邺城宫城墙为复墙形式系汉唐时期都城遗址考古首次确认实例******

　　中新社邯郸1月18日电 (李海波)据中国社会科学院考古研究所与河北省文物考古研究院联合组建的邺城考古队18日透露，经对东魏、北齐邺城宫城区北部勘探与发掘，确认其宫城墙为复墙形式，这是汉唐时期都城遗址中经考古发掘首次确认的实例。

资料图为东魏、北齐邺城宫城区发掘出土遗物。中新社发邺城考古队供图

　　邺城遗址位于河北省邯郸市临漳县西南部，分邺北城和邺南城两部分。邺城曾为曹魏、后赵、冉魏、前燕、东魏、北齐六朝都城，是中国古代都城规划肇始地，在中国古代都城建设史上具有承上启下的重要意义。

资料图为东魏、北齐邺城宫城东北角平面图。中新社发邺城考古队供图

　　据介绍，邺城考古队自1983年起在邺城遗址持续进行考古工作，2022年度田野工作围绕探索东魏、北齐宫城区和核桃园北齐佛寺平面布局展开，主要开展了宫城区北部勘探与发掘、核桃园北齐佛寺勘探与发掘两项。

图为2022年10月25日，东魏、北齐邺城宫城东北角发掘现场。中新社发邺城考古队供图

　　中国社会科学院考古研究所副研究员沈丽华称，2022年度工作重点最初集中于宫城东北角，后扩展至宫城西北角。经发掘确认，宫城东北角由两道宫墙组成，中间形成夹道。内侧宫城墙宽约1.8米—2.3米，墙体内侧包砖，外侧涂抹带红彩的白色墙皮。外侧宫城墙宽约2.45米—2.5米，由南北两段组成，南段与内侧墙体结构相似，北段未见包砖，内外均涂抹白色墙皮。宫城西北角破坏略为严重，但第二道宫墙也得以确认。

　　沈丽华表示，东魏、北齐邺城宫城墙采用复墙形式，是汉唐时期都城遗址中经考古发掘首次确认的重要实例，对于探索东魏、北齐邺城宫城布局具有极其重要的学术意义，也为邺城国家考古遗址公园建设、展示与利用提供了重要考古基础。(完)

　　（文图：赵筱尘巫邓炎）

[责编：天天中]

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